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場(chǎng)效應管的工作原理及制造工藝

2020-07-20

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場(chǎng)效應管(FET)是場(chǎng)效應晶體管(field-effect transistor)的簡(jiǎn)稱(chēng),它是一種通過(guò)電場(chǎng)效應控制電流的電子元件。它依靠電場(chǎng)去控制導電溝道形狀,因此能控制半導體材料中某種類(lèi)型載流子的溝道的導電性。

 

場(chǎng)效應管不但具有雙極性晶體管體積小、重量輕、壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn),而且噪聲低,熱穩定性好,抗輻射能力強,使之廣泛地應用于各種電子電路之中。

 

所有的場(chǎng)效應管都有柵極g(gate)、漏極d(drain)、源極s(source)三個(gè)極,分別對應雙極性晶體管的基極b(base)、集電極c(collector)和發(fā)射極e(emitter)。除了結型場(chǎng)效應管外,所有的FET也有第四端,被稱(chēng)為體(body)、基(base)、塊體(bulk)或襯底(substrate)。P區與N區交界面形成耗盡層,而漏極d與源極s間的非耗盡層區域稱(chēng)為導電溝道。

 

接下來(lái)我們介紹一下場(chǎng)效應管的制造工藝,根據MOS管的微電子學(xué)原理,在用離子注入時(shí),摻雜原子在器件溝道位置的隨機變化將影響MOS管電參數的變化。當MOS管的尺寸減小時(shí),摻雜原子在器件中的平均數量將減小。作為一個(gè)結果,摻雜原子數目和它們在器件溝道中的所在位置的隨機變化將增加。

 

在標準的制造工藝中,摻雜原子通過(guò)隨機散射過(guò)程在溝道中找到它們的所在位置。因此,摻雜原子在溝道中的數目和排列的隨機效應是器件的固有效應,人們不能在標準的制造工藝中把它們取消掉。這個(gè)效應將導致器件和整個(gè)電路的性能, 例如電流的驅動(dòng)能力和傳輸滯后的隨機變化。其中摻雜原子在溝道中的數目和排列的隨機效應也將引起MOS管閾值電壓的隨機變化。這些將直接導致由于溝道長(cháng)度減小而使器件的性能變壞。

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